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七星流量计

七星流量计

简要描述:七星流量计,气体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

产品型号: CS200

所属分类:气体流量控制器

更新时间:2019-08-22

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,生物产业,能源,电子,航天

 

警告必须要非常小心地处理有毒的、腐蚀性的或易燃易爆的气体。在质量流量控制器/ 流量计安装之后,应该彻底的检查整个气路以保证没有气体泄漏。通入腐蚀性气体之前应先通一个小时的干燥惰性气体以清洗质量流量控制器/流量计。

重要提示:当安装质量流量控制器/流量计时,确保产品通道所示的箭头方向与流经产品的气体流动方向相同

七星流量计在大多数应用场合下,需要在气路中安装一个截止阀。截止阀与 MFC MFM 间的截留加压气体将会产生清洗效果,用户应根据情况来决定截止阀的安装位置(上游或下游)。为了防止污染,建议您在产品的上游管路中安装过滤器。

注意 :  气体质量流量计和量控制器出厂通常(N2)标定。

质量流量的单位规为: SCCM (标准毫升/分);

SLM (标准升/分)

标准状态规定为: 温度 —— 273.15K ( 0℃ );

气压 —— 101325 Pa (760mm Hg)

七星流量计 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S.  (Full  Scale): 满量程值 S.P.(Set Point): 点值

 



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