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七星华创流量计

七星华创流量计

简要描述:七星华创流量计流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进
行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量
相等。分流器决定主通道的流量。

产品型号: D07系

所属分类:气体流量控制器

更新时间:2019-08-23

厂商性质:生产厂家

详情介绍
品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,生物产业,石油,电子,航天

七星华创流量计质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量;质

量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量

和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环

保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺

设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤

熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

七星华创流量计使用腐蚀性气体问题

流量计气流通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于 316L 不锈钢),氟橡胶等耐蚀材

料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀

性气体。使用氨气的用户应在定货时声明。9E9EM 型流量计产品不能用于有机溶剂蒸汽

(如丙酮等)和 BCl3BBr3 等强腐蚀性气体。阀口的密封材料通常为氟橡胶或耐氨橡胶,

对于 9E 型质量流量控制器也可以选用聚四氟乙烯;当选用四氟乙烯时,阀口容易出现漏气,

阀口密封的漏气率小于满量程流量的 2%;对于使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作

相应改变。



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