七星华创流量计

七星华创流量计质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

七星华创流量计使用腐蚀性气体问题：

流量计气流通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于 316L 不锈钢)，氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用氨气的用户应在定货时声明。9E、9EM 型流量计产品不能用于有机溶剂蒸汽（如丙酮等）和 BCl3、BBr3 等强腐蚀性气体。阀口的密封材料通常为氟橡胶或耐氨橡胶，对于 9E 型质量流量控制器也可以选用聚四氟乙烯；当选用四氟乙烯时，阀口容易出现漏气，阀口密封的漏气率小于满量程流量的 2%；对于使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。