氢氮混合仪

氢氮混合仪主要技术指标 ：

氮气最大流量3200SLM，氢气最大流量320SLM

质量流量控制器准确度：≤±1％Rd

质量流量控制器重复精度： ±0.2％

响应时间：≤1 sec

耐压： 1MPa

漏气率： 1×10-9SCCSHe

通道材料： 316L 和304 不锈钢

进出气口连接尺寸：氢气1/2英寸，氮气1英寸，混合气出口1 1/2英寸

预热时间：＜1min

仪器重量：约170Kg；

氢氮混合仪工作环境条件：

工作温度为 -10 ℃～60 ℃；

相对湿度为0-100%，无冷凝水；

工作电源为交流 220 V±22 V、频率 50 Hz ±1Hz。

注意：

☆ 在对有毒有害气体进行配气时，必须严格做好防护措施，严格检查管路联接的气密性。配气结束后必须在防护措施未撤之前对管路用无毒气体进行*清洗，以排除管路内残   留的有毒有害气体。

☆ 在对有腐蚀性气体进行配气时，需要根据配制气体的化学特性选用耐此类腐蚀材料型号的配气仪，以保证精度和延长仪器的使用寿命。

☆建议用户在各通道进气口处分别安装一只减压阀，当某一通道不使用或暂时不使用时，可将该通道减压阀关闭，以确保该通道不会漏入气体；

仪器操作：

仪器开机自检正常后，通过触屏选择进入配气界面。异常情况请参考“常见问题   与解决"。

关闭减压阀输出阀，打开气瓶阀门，气瓶阀门打开后，减压阀高压压力表的压力值会与气瓶压力值一致，一般压强 1Mpa 以上。如果减压阀不漏气，高压压力表的压力值会一直保持不变，有严重漏气时可听到明显的气流声，应立即关闭气瓶重新连接。

连接好各路减压阀和仪器输入管路，并连接好仪器输出管路，然后缓缓开启每路减压阀开关，确保减压阀减压输出的压强大于 0.05MPa，推荐调整输出压强为 0.1MPa，一般使用压力小于0.3MPa(通过低压压力表观察和调整最后压强输出)。

注意：

仪器启动配气前气路处于关闭状态。仪器的气路阀门关闭后可暂时作为减压阀的关闭阀使用，在仪器断电关闭后或长时间未启动配气工作，请关闭对应通道减压阀阀门，以免仪器气路阀门长期受力影响流量精度。