气体质量流量控制器

Full Scale Range (N2 Eqv)

单气体2-5000sccm |单气体5-50slm

Control Valve Type 阀门类型

常开式或常闭式螺线管（NC or NO）

Fitting 接头

1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容

Seals密封

橡胶Viton

Response Time响应时间

wlSec（超过满量程10%）

Accuracy精确性

25%-100%:w ±1%SP (满量程25% 到 100%) 2%-25%: w ±0.25%F.S (满量程2% 到 25%)

Linearity线性度

w满量程的土 0.5%

Repeatability 重复性

w满量程的±0.2%

Differential Pressure 压差

7- 40psi

Leak Integrity 漏率

Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

Control Range控制范围

满量程的2-100%

Max Operating Pressure最高操作压力

70psi

Proof Pressure 承受压力

最大值140psi

Communication Type 通讯模式

模拟 0-5V/RS485

Input Power输入功率

+15VDC ±2% at 100mA

-15VDC ±2% at 200mA

Command Signal输入模拟信号

模拟信号0-5 VDC（输入阻抗＞1M Q） /数字信号0-100%

Output Signal输岀模拟信号

模拟信号0-5 VDC（输入阻抗＞2M Q）/数字信号0-100%

Power Consumption功耗

4.5W

Temperature Range 温度范围

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS,316SS, PTFE

Weight重量

0.9KG

Surface Finishing 表面处理

5RA